激光干涉測量儀可對機床進行校準、檢測機器人的重復定位精度......并提供數據補償依據，是高品質測量儀器產品。

中圖儀器測量重復定位精度的配置主要由SJ6000主機、EC20環境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態測量軟件等組件構成，可滿足0~80m范圍內的線性測量。

SJ6000激光干涉測量儀的靜態測量軟件可以將線性測量結果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以降低運動軸的位置誤差。

線性測量中目標位置的數據采集有基于位置的目標采集和基于時間的目標采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標采集方式，即：被測運動軸需設定若干個等距的定位點，當運動軸移動到設定的定位點時，需設置停留時間，以供SJ6000測量軟件進行當前點的數據采集。

技術參數

產品型號：SJ6000

產品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩頻方式：激光熱穩頻

穩頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動態采集頻率：50KHz

預熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%

主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

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SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，可實現高精度、長期穩定的激光頻率輸出，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，與不同光學附件結合，可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結構，安裝位置靈活，便于分析機床誤差來源；而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數據，更接近機床的實際使用狀態。