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NS系列臺階儀精密測量儀器臺階高度重復(fù)性能低于5A，Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達(dá)亞埃米級，且垂直方向動態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結(jié)果穩(wěn)定可靠，重復(fù)性好，精準(zhǔn)拿捏測量的輪廓形貌細(xì)節(jié)。

VT6000系列精密共聚焦顯微鏡測量儀器以共聚焦技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

中圖儀器高分辨率儀器掃描電鏡CEM3000全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B基于復(fù)合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺式掃描電鏡，不僅擁有強大的抗振性能和高效的工業(yè)應(yīng)用能力，而且操作靈活和成像質(zhì)量可靠，在現(xiàn)代制造業(yè)中為用戶帶來突破性的檢測解決方案。

中圖儀器掃描電子顯微電鏡CEM3000全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B基于復(fù)合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺式掃描電鏡，不僅擁有強大的抗振性能和高效的工業(yè)應(yīng)用能力，而且操作靈活和成像質(zhì)量可靠，在現(xiàn)代制造業(yè)中為用戶帶來突破性的檢測解決方案。

中圖儀器國內(nèi)自研高分辨率掃描電鏡憑借空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù)，展現(xiàn)出色的性能。

SuperViewW三維白光干涉輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。SuperViewW具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。