中圖儀器白光干涉光學粗糙度檢測儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
中圖儀器金屬材料掃描電鏡SEM無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。此外,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規電鏡難以耐受的工作環境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術,展現出色的性能。
中圖儀器臺式桌面掃描電鏡儀器CEM3000全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B基于復合抗振手段,專為振動環境設計,抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩定,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。
NS系列臺階儀精密測量儀器臺階高度重復性能低于5A,Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達亞埃米級,且垂直方向動態比率高,可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結果穩定可靠,重復性好,精準拿捏測量的輪廓形貌細節。
VT6000系列精密共聚焦顯微鏡測量儀器以共聚焦技術為原理結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。
中圖儀器高分辨率儀器掃描電鏡CEM3000全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B基于復合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺式掃描電鏡,不僅擁有強大的抗振性能和高效的工業應用能力,而且操作靈活和成像質量可靠,在現代制造業中為用戶帶來突破性的檢測解決方案。